Bystrov, Ju.A..
Technologiceskij kontrol' razmerov v mikroelektronnom proizvodstve / Bystrov Ju.A., Kolgin E.A., Kotlecov B.N.. - Moskva : Radio i Svjaz', 1988. - 168 s.: il.; 22 cm.
5256000063
Technologiceskij kontrol' razmerov v mikroelektronnom proizvodstve / Bystrov Ju.A., Kolgin E.A., Kotlecov B.N.. - Moskva : Radio i Svjaz', 1988. - 168 s.: il.; 22 cm.
5256000063