| 000 | 00294 a2200073 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 245 | 0 |
_aOpticeskie metody kontrolja integral'nych mikroschem : _bSostojanie i perspektivy soversenstvovanija / _cDubickij L.G.. |
|
| 710 | 2 |
_aRadio i Svjaz'. _eWydawca _4pbl |
|
| 260 |
_aMoskva : _bRadio i Svjaz', _c1982. |
||
| 300 |
_a136 s.; _c24 cm. |
||
| 999 |
_c9959 _d9959 |
||