000 00402 a2200109 4500
100 1 _aKurnosov, A.I..
_eAutor
700 1 _aJudin, V.V..
_eAutor
245 0 _aTechnologija proizvodstva poluprovodnikovych priborov i integral'nych mikroschem /
_cKurnosov A.I., Judin V.V..
250 _aIzd. 2, pererab. i dop..
710 2 _aVyssaja Skola.
_eWydawca
_4pbl
260 _aMoskva :
_bVyssaja Skola,
_c1979.
300 _a367 s.;
_c25 cm.
999 _c9203
_d9203