000 00389 a2200121 4500
020 _a503001716X
920 _a5-03-001716-X
100 1 _aMoreau, Wayne M..
_eAutor
700 1 _aTimerov, R.Ch..
_eRedaktor
245 0 _aMikrolitografija :
_bprincipy,metody,materialy /
_cMoreau Wayne M., Timerov R.Ch..
_nc.1
710 2 _aMir.
_eWydawca
_4pbl
260 _aMoskva :
_bMir,
_c1990.
300 _a606 s.:
_bil.;
_c22 cm.
999 _c8396
_d8396