000 00316 a2200085 4500
100 1 _aAleksenko, A.G..
_eAutor
245 0 _aOsnovy mikroschemotechniki :
_belementy morfologii mikroelektronnoj apparatury /
_cAleksenko A.G..
710 2 _aSovetskoe Radio.
_eWydawca
_4pbl
260 _aMoskva :
_bSovetskoe Radio,
_c1971.
300 _a349 s.;
_c24 cm.
999 _c2935
_d2935