000 00309 a2200097 4500
100 1 _aCetverikov, N.I..
_eAutor
700 1 _aPolutin, V.S..
_eAutor
245 0 _aMaterialovedenie v mikroelektronike /
_cCetverikov N.I., Polutin V.S..
710 2 _aZnanie.
_eWydawca
_4pbl
260 _aMoskva :
_bZnanie,
_c1979.
300 _a63 s.;
_c24 cm.
999 _c14331
_d14331