Bystrov, Ju.A..  <br/><br/>
Technologiceskij kontrol' razmerov v mikroelektronnom proizvodstve /  
Bystrov Ju.A., Kolgin E.A., Kotlecov B.N.. 
 - Moskva :   Radio i Svjaz',   1988. 
 - 168 s.:   il.;   22 cm. 
<br/><br/><label>ISBN: </label>5256000063