Gardner, Julian W.  (1958- ). <br/><br/>
Microsensors, MEMS, and smart devices / 
Julian W. Gardner, Vijay K. Varadan, Osama O. Awadelkarim. 
 - Chichester :  John Wiley & Sons, LTD,  2001. 
 - XVI, 503 s. :  il. ;  25 cm. 
<br/><br/>Bibliogr. przy rozdz. 
<br/><br/><label>ISBN: </label>047186109X 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Mikroczujniki.<br/>Mikroobróbka.<br/>Mikroelektronika--materiały.