Moreau, Wayne M..
Mikrolitografija : principy,metody,materialy / c.1 Moreau Wayne M., Timerov R.Ch.. - Moskva : Mir, 1990. - 606 s.: il.; 22 cm.
503001716X
Mikrolitografija : principy,metody,materialy / c.1 Moreau Wayne M., Timerov R.Ch.. - Moskva : Mir, 1990. - 606 s.: il.; 22 cm.
503001716X