Gardner, Julian W. (1958- ).
Microsensors, MEMS, and smart devices / Julian W. Gardner, Vijay K. Varadan, Osama O. Awadelkarim. - Chichester : John Wiley & Sons, LTD, 2001. - XVI, 503 s. : il. ; 25 cm.
Bibliogr. przy rozdz.
047186109X
Mikroczujniki.
Mikroobróbka.
Mikroelektronika--materiały.
Microsensors, MEMS, and smart devices / Julian W. Gardner, Vijay K. Varadan, Osama O. Awadelkarim. - Chichester : John Wiley & Sons, LTD, 2001. - XVI, 503 s. : il. ; 25 cm.
Bibliogr. przy rozdz.
047186109X
Mikroczujniki.
Mikroobróbka.
Mikroelektronika--materiały.